万级无尘标准。任何直径大于一微米的悬浮颗粒物都被强力换气系统阻挡在气闸室之外。
车间中央,矗立着一台高达三米的直拉法单晶炉。
这台设备的结构充满了冰冷的工业重力感。炉体由双层不锈钢水冷夹套构成。为了带走内部产生的庞大热辐射,粗大的水泵将冰冷的去离子水持续不断地压入夹套内部进行循环。
操作员穿戴着全封闭的白色防静电服,戴着防毒面罩,开始执行严格的抽真空作业。
“开启粗抽阀门。机械旋片泵启动。”
巨大的电机轰鸣声响起。旋片在泵腔内高速旋转,将炉腔内的空气大量排出。当压力下降到一定程度后,机械增压泵和油扩散泵依次串联启动。
油扩散泵底部的加热器将特种泵油煮沸,高速喷出的油蒸汽分子将炉腔内残余的气体分子死死捕获并带向排气口。
“炉腔真空度达到十的负三次帕斯卡。漏率测试合格。”操作员盯着真空计的指针汇报道。
“关闭排气阀。开始注入保护气体。高纯度氩气流量设定每分钟五升。”
氩气,这种绝对惰性的单原子气体,顺着管路缓慢注入炉腔。它将整个拉晶环境填充为一个绝对没有氧气、氮气参与的化学隔离区,防止高温下的硅发生剧烈氧化。
“炉压恢复至零点五大气压。启动射频发生器。加热功率输出百分之六十。”
在单晶炉的外部,环绕着几圈粗大的紫铜感应线圈。强大的高频交变电流涌入线圈。
根据法拉第电磁感应定律,交变磁场无视了不锈钢外壳的阻挡,直接穿透进去,在炉腔内部的高纯石墨发热体上产生了强烈的电涡流。
焦耳热在石墨内部迅速汇聚。
在石墨发热体的中心,放置着一个由高纯度二氧化硅烧制而成的透明石英坩埚。坩埚内,装填着经过多道化学酸洗和还原反应提纯得到的多晶硅碎块。
硅的熔点高达一千四百一十四摄氏度,远远高于锗的九百三十八度。
随着石墨发热体温度的攀升,石英坩埚发出刺眼的、接近恒星表面的亮白色光芒。多晶硅碎块开始软化、坍塌,最终在坩埚底部融化成一池散发着耀眼光芒、粘稠的液态硅熔体。
赵广陵站在单晶炉的观察窗前。为了防止高温热辐射烧伤视网膜,观察窗上镶嵌了厚厚的高密度墨色滤光玻璃。
他注视着内部的流体相变。
“液面温度稳定在一千四百二十摄氏度。热场
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